简介：

谢会开，IEEE Fellow/SPIE Fellow，卡内基梅隆大学博士，在佛罗里达大学执教18年，2020年回到母校北理工集成电路学院任教，并兼任集成声光电微纳系统教育部工程研究中心主任、北理工重庆微电子研究院院长。主要研究MEMS及其应用，发表学术论文350余篇，拥有授权美国专利30余项、授权中国发明专利60余项。

摘要：

本报告将汇报以下内容：（1）MEMS微镜基本概念及其广泛应用，（2）微镜的关键参数及结构优化设计，（3）基于静电、压电、电热、电磁等驱动原理的各种MEMS扫描微镜及微镜阵列芯片，（4）基于具有低驱动电压、高填充率、双轴线性扫描的电热微镜的多种光学内窥成像技术，包括OCT、共聚焦和光声显微成像。